| 类型：气体捕集泵 | 品牌：EDWARDS爱德华 | 型号：EPX500NE |
| 材质：铸铁 | 用途：半导体 |
概述
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本***。EPX500 使用了独特的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。英国爱德华EPX500L EPX500N干式真空泵维修
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。英国爱德华EPX500L干泵保养、 EPX500N、EPX500LE、EPX500NE干式真空泵维修保养英国爱德华EPX500L EPX500N干式真空泵维修
应用
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
功能和优势
紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX ***节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
独特的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
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