| 类型：气体捕集泵 | 品牌：EDWARDS爱德华 | 型号：EPX180L |
| 材质：铸铁 | 用途：半导体 |
Edwards爱德华EPX180L半导体干式真空泵维修保养
应用目标应用包括：负载锁计量传输腔
灰化/剥离
PVD
爱德华EPX 180真空干泵
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 小工具上泵之一，EPX ***节省了 占地面积。铝制构造
使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装
成本，如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压
力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有
高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度
地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
选择比其尔的优势---进口真空泵专业维修厂家：
技术***：拥有10年以上各类进口真空泵维修经验及专业治具。
质量***：授权代理商，*真空泵维修配件、耗材。
时间***：提供本地化真空泵维修服务，维修周期短。
运行***：正常使用下，提供6个月延保服务。
价格***：以*惠价格获得的服务。
服务***：7-24小时技术咨询和疑难排除及客户现场维修服务。
电话：13902646569李小姐
