类型:气体捕集泵 | 品牌:edwards爱德华 | 型号:EH2600 |
材质:铸铁 | 用途:化工泵 |
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为0.01 至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光。
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