| 类型：气体捕集泵 | 品牌：EDWARDS爱德华 | 型号：nxds6i/10i/15i/20i/350i |
| 材质：铸铁 | 用途：半导体 |
爱德华Edwards nXDS 泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更高极限真空、***功耗和噪声。借助气镇功
能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS 泵还采用了新的端面密封技术，***延长了端面密封条更
换的时间间隔。
Edwards nXDS-C是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以
及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。
爱德华nXDS10i干式涡旋泵
产品特点：
* 温控风扇：可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使噪声降至仅 52 dB(A)。
* 轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而
延长轴承的使用寿命。
* 变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造很好的用户体验。
* 涡旋盘经优化设计后：转速提高，极限真空比一代提高一个数量级，低到极限压力仅为7 x 10-3mbar。
* 经优化设计的端面密封技术：使得使用寿命发生***变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到 2 年以上。
* 高流量气镇特性：可实现高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
产品应用：
一般清洁泵送应用，电子扫描显微镜-SEM，射束线和高能物理，前级涡轮泵，覆层，低温学，脱气/硫化-油，环氧树脂，蒸馏
/萃取/过滤，冷冻干燥，熔炉，凝胶体干燥，实验室工作台上真空，激光、气体回收和再循环，氦检漏仪，负载锁和传输腔，
稀有气体再循环，稀有气体回收，冷冻制造，研发，旋转离心蒸发器，SEM/FIB（离子束维修），溶剂回收，表面科学仪器。
