| 类型：气体捕集泵 | 品牌：爱德华 | 型号：IXL120 |
| 材质：铸铁 | 用途： 半导体 |
爱德华EDWARDS IXL120干式泵维修保养
爱德华IXL系列干泵适用于半导体和太阳能应用；
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
快速的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 . ***；仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本 . 环保模式可以在空闲 期间可减少 92% 的功耗 ,占地小且轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
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EDWARDS真空泵是世界真空泵之一，机械增压泵采用*的液力驱动，可实现高效的动力传
送，在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合，这种高压力差使
增压泵可以与前级泵同时启动，从而减少总体抽气时间。
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