| 类型：气体捕集泵 | 品牌：KASHIYAMA | 型号：NeoDry60E |
| 材质：铸铁 | 用途：半导体制造业与液晶显示 |
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。KASHIYAMA樫山干式真空泵NeoDry60E维修
小型风冷干式真空泵NeoDry系列
维护周期每三年实现一次！（推荐的空气/ N 2吸气时间）
如涡旋泵更换*密封·性能恶化·无磨损粉末！
像旋转泵一样不产生油烟·真空室***
轻巧，紧凑，可滚动·易于更换旋转泵！
可以排出水蒸气和溶剂等可冷凝气体！
低噪音，低振动，适用于研究设施！
KASHIYAMA樫山干式真空泵NeoDry60E维修
值得信赖的真空技术。 一个多样化的产品组，具有***的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的广泛信赖，包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是，一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准，是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品，并且得到了客户的高度赞誉，它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能。。
不仅是干泵，还有机械增压泵，真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高耐腐蚀性
仕様 / 型式 NeoDry7E NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E NeoDry60E NeoDry300E
*大排気速度 110 250 500 600 1,000 5,000
[L/min]
到達圧力 [Pa] 5 1 0.3
（不使用气镇机构时）
電源電圧 単相AC100～120V 単相AC100～120V, 単相AC200～240V 単相AC200～240V
(50/60Hz) *1 単相AC200～240V 3相AC200～240V 3相AC200～240V
气镇机制 標準採用 可选设置（可安装N2） 標準採用
*大水蒸気処理量[g/h] 120 250 350 600
（使用气镇机构时）
騒音値 [dB(A)] ≦56 ≦58 ≦60 ≦72
（吸気口全閉時）
振動値 [μmp-p] ≦8
（吸気口全閉時）
質量 [kg] 19 23 25 54 56 125
吸気口径 NW25 NW40 NW50
排気口径 NW25
